ياج كريستال
1. مقدمة
كريستال YAG (عقيق الألومنيوم الإيتريوم، Y₃Al₅O₁₂) عبارة عن مادة ليزرية وبصرية ممتازة معروفة بصلابتها العالية، وموصليتها الحرارية العالية، واستقرارها الكيميائي الجيد، وتجانسها البصري الفائق. يتم استخدامه على نطاق واسع في أجهزة الليزر ذات الحالة الصلبة-، وركائز فوسفور LED، والنوافذ الضوئية، ومعدات الليزر الطبية، والأنظمة الضوئية-الكهربائية الدفاعية.
تمتلك شركة Hemei خبرة فنية عميقة في المعالجة الدقيقة للمواد الصلبة والهشة. لقد طورت عملية تلميع فعالة ومستقرة خصيصًا لبلورات YAG، مما يتيح معالجة يمكن التحكم فيها بالكامل من التلميع الخشن إلى التلميع الناعم. وهذا يضمن أن السطح البلوري YAG يلبي معايير الجودة لتطبيقات "درجة -الليزر" أو "درجة -البصرية".
2. متطلبات التقديم
تشمل أهداف التلميع لبلورات YAG ما يلي:
تم تقليل خشونة السطح (Ra) إلى <0.5 نانومتر.
دقة الشكل السطحي (القيمة الكهروضوئية) أفضل من 10/10 (@632.8 نانومتر).
سطح خالٍ من التلف والشقوق-السطحية الفرعية، ويلبي متطلبات حد الضرر الناجم عن الليزر (LIDT)-.
يتم التحكم في توحيد السماكة (TTV) ضمن نطاق ميكرومتر محدد.
ولتحقيق هذه الأهداف، تستخدم عملية Hemei نظام ربط مخصصًا وإجراءات تلميع متعددة-الخطوات، مما يضمن الدقة الهندسية وسلامة السطح أثناء المعالجة.
3. مواصفات النظام
يدعم نظام التلميع المعياري من Hemei معالجة بلورات YAG بأحجام وأشكال مختلفة. يتضمن النظام الأساسي ما يلي:
معدات اللف من سلسلة HSM-L/LP:يستخدم لإزالة المواد الأولية والتحكم في سمكها.
نظام التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) من سلسلة HSM-CMP: يستخدم للحصول على سطح- فائق النعومة وخالي من التلف-.
الأنظمة الفرعية الرئيسية:
وحدة الربط الخاصة بالرقاقة/الكريستال- (WBU)
تركيبات التلميع الدقيقة من سلسلة SJ/ASJ
C-ASJ Drive Head High-نظام تلميع سريع
4. تدفق المعالجة
الربط والتركيب:يتم ربط كريستال YAG مؤقتًا بلوحة دعم باستخدام WBU ثم يتم تثبيته على أداة التلميع.
التلميع الخشن والمتوسط: يتم إجراء عملية التجليخ التي يتم التحكم فيها على معدات HSM -L لإزالة الطبقة التالفة من التشغيل الآلي.
تلميع ناعم: يتم استخدام نظام HSM-CMP للتلميع النهائي. من خلال ضبط المعلمات مثل الضغط وسرعة الدوران وتدفق الملاط في الوقت الفعلي-، يتم تحقيق تشطيب السطح النانوي.
5. النتائج النموذجية
خشونة السطح: Ra <0.5 نانومتر
دقة الشكل السطحي: PV أقل من أو يساوي 10/10
معدل إزالة المواد: 1-2.5 ميكرومتر/ساعة (قابل للتعديل)
ينطبق على رقائق YAG التي يصل قطرها إلى أقل من أو يساوي 6 بوصات وبلورات غير منتظمة الشكل.
6. ملخص
توفر شركة Hemei حل تلميع كامل وموثوق لبلورات YAG، وهو قادر على تحقيق جودة السطح النانوية والأداء البصري العالي باستمرار. ويدعم هذا التطبيق الصناعي لـ YAG في-المجالات المتطورة مثل الليزر والإلكترونيات الضوئية.
يتم إكمال العملية المذكورة أعلاه باستخدام آلة Hemei لتصفيح وتلميع أشباه الموصلات
